核心技术
超纯水设备在电子行业应用比较广泛,电子行业通常用超纯水清洗铝箔和工作件,此外在集合电路生产中用超纯水来清洗硅片。还有液晶显示器屏幕需要超纯水和配置液来清洗。
电子行业用超纯水典型工艺流程
1、预处理系统-反渗透系统-中间水箱-粗混合床-精混合床-纯水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-抛光混床-精密过滤器-用水对象 (≥18MΩ.CM)(传统工艺)。
2、预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-抛光混床-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象(≥18MΩ.CM)(最新工艺)。
3、预处理-一级反渗透-加药机(PH调节)-中间水箱-第二级反渗透(正电荷反渗膜)-纯水箱-纯水泵-EDI装置-紫外线杀菌器-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象(≥17MΩ.CM) (最新工艺)。
4、预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象(≥15MΩ.CM)(最新工艺)。
5、处理系统-反渗透系统-中间水箱-纯水泵-粗混合床-精混合床-紫外线杀菌器-精密过滤器-用水对象 (≥15MΩ.CM)(传统工艺)。
电子行业用超纯水设备特点
电子行业超纯水需要符合标准水质,通常以国家自来水标准水位源水,在工艺选材方面参考客户要求,具有更高性价比和可靠性。